型号：Dimension Icon

生产厂家：德国Bruker

主要技术指标：1.测试模式：接触模式（Contact）、轻敲模式（Tapping）、相位成像模式、磁

力模式、压电响应模式、扫描隧道显微模式（STM）等。

2.X-Y方向扫描范围：90µm×90µm典型值

3.Z方向扫描范围：10µm典型值

4.噪声水平：≤0.5 Å

5.样品台：直径150mm真空吸盘样品台

6.样品尺寸：样品尺寸可达直径210mm，厚度15mm

7.图像种类：（二维、三维）形貌像、相位像等

8.数据种类：表面粗糙度Ra、Rq值等

原理及应用：AFM利用一端固定而另一端装有纳米级针尖的弹性微悬臂来检测材料表面形貌。

当针尖在样品表面（即XY平面）扫描时，针尖与样品表面原子间的排斥力会导

致微悬臂的轻微变形，通过激光系统测量微悬臂的变形量，可反映材料任意点

（x, y）的高度信息（z值），因此对材料表面进行定域扫描便可得到此区域的表

面形貌。AFM可对金属、陶瓷、半导体等块体材料进行测量，还可表征粉末颗

粒、晶须、薄膜等低维材料的形貌。

样品要求：AFM为无损检测，直径<150mm 、厚度<15mm 的块体材料可直接检测。为保证低维

材料的测试精度，建议送检人员先在干净的硅片或解离后的云母片上制样。

仪器负责人：劳新斌（15279995976）